教师简介

一、基本情况：

1994.09 - 1998.06 苏州大学，物理教育专业，本科；

1998.09 - 2001.06 苏州大学，凝聚态物理学，硕士，导师：许裕生教授；

2001.09–2005.03 中科院上海微系统与信息技术研究所，微电子学与固体电子学，博士，

                  导师：邹世昌院士，张峰研究员

2005.03– 至今   苏州科技大学，副教授

2012.02– 2012.11 德国于利希研究中心，访问学者，合作导师：赵清太教授

二、主要研究领域及成果：

主要从事半导体薄膜材料与器件研究工作，涉及力敏传感器、温差电器件等薄膜材料制备与性能分析等。  

三、代表性科研成果：

1.Xinli Cheng, Hong Liu, Feng Zhang. Relaxed SiGe-on-insulator with high Ge fraction obtained by oxidation of SiGe/Si-on-insulator with hydrogen ions implantation. Applied Surface Science. 2007.253:4472-4476.

2. Xinli Cheng, Zhijun Chen, Yongjin Wang, Bo Jin,Feng Zhang, Shichang Zou. Fabrication of SGOI material by oxidation of an epitaxial SiGe layer on an SOI wafer with H ions implantation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2005,234: 243-248

3. Xinli Cheng, Zhilang Lin, Yongjin Wang, HaiboXiao,Feng Zhang, Shichang Zou, Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer, Materials Letters, 2005,59: 361-365.

4.程新利，唐运海，沈娇艳，王冰，秦长发，潘涛等.微型动态渗透水压力传感器，2016.6授权，ZL201310653653.5

5.程新利，唐运海，沈娇艳，王冰，秦长发，潘涛等.压力传感器敏感元件的制造工艺，2016.5授权ZL 201310613099.8

6.刘宏，刘伟祎，程新利，章于道.一种电子皮肤生物燃料电池的制备方法及生物燃料电池，2021.7授权，ZL202011117959.5.

7.王冰，姜君蕾，毛超民，程新利，郭鹏等.2017年中国仪器仪表学会科学技术奖三等奖：用于建筑物健康诊断风载荷压力传感器预警系统.

8.王文襄，王冰，陈立国，赵玉龙，赵立波，程新利，毛超民.2015年江苏省科学技术奖三等奖：特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化.

9.王文襄，王冰，毛超民，潘涛，程新利，孙晋玲.2013年江苏省科学技术奖三等奖：MEMS技术半导体硅压阻高频、微型、高温系列动态力敏传感器.